듀폰社의 EUV용 포토레지스트 한국투자 유치

▲ 산업통상자원부 홈페이지[ www.motie.go.kr ]

1. 미국 투자유치활동 개요

산업통상자원부는 2020.1.9.(목, 현지시각), 미국 실리콘밸리에서 한국투자에 관심을 가지고 있는 미국 투자가들을 대상으로 對韓 투자유치활동을 추진함

혁신의 상징인 실리콘밸리에서 열린 이번 행사에서 산업부는 성윤모 장관이 주재한 라운드테이블 회의에 소재‧부품‧장비(반도체‧자동차), 신산업(수소경제‧재생에너지‧IT), 벤처캐피탈 분야의 혁신기업(10개社)을 초청하여 한국투자 협력방안 등에 대해 논의함

한편, 성윤모 장관은 라운드테이블 회의에 앞서 1.8.(수) 저녁(현지시각), 글로벌 화학소재 기업인 듀폰(DuPont)社의 존 켐프(Jon D. Kemp) 사장을 별도로 만났으며, 이 자리에서 듀폰社는 일본의 수출규제 3대 품목 중 하나인 “EUV용 포토레지스트 개발‧생산시설 구축”을 위해 한국에 투자하기로 확정하고, 코트라에 투자신고서를 제출함

< 듀폰社 개요 >
- 설립연도 / 매출액 / 고용 : 1802년 / 226억불 / 3만 2천여명 (2018년)
- 주요업종 : 반도체용 포토레지스트, AMOLED 및 디스플레이 화학제품 등
- 규모 : 전 세계 70여개국에 163개의 자회사 보유

2. 미국 투자유치활동 주요성과

1) 듀폰 반도체 소재 투자유치

이번 투자유치활동 계기에 성윤모 산업부 장관과 존 켐프 듀폰社 사장은 현지에서 개별면담을 통해, 듀폰社의 “EUV용 포토레지스트” 한국 투자를 최종 확정함

듀폰社의 존 켐프(Jon D. Kemp) 사장은 성윤모 장관이 임석한 자리에서 장상현 KOTRA Invest Korea 대표에게 금번 투자와 관련하여 2.8천만불의 투자신고서를 제출하고, 양측은 한국 투자가 차질 없이 진행되도록 협력해 나가기로 함

< 듀폰社 투자계획 >
- 투자신고금액 / 투자예상기간 / 지역 : 2.8천만불 / ‘20~2021년 / 충남 천안
- 투자분야 : EUV용 포토레지스트① 개발·생산, CMP패드② 생산

① 웨이퍼(기판)위에 패턴을 형성하는 포토 리소그래피 공정에서 사용되는 감광성 재료. 파장이 짧을수록 미세화 공정에 적용 가능 【KrF(248nm), ArF(193nm), EUV(13.5nm)】

② 반도체 웨이퍼 표면을 화학적, 기계적 방법으로 연마하여 평탄화하는 과정에 사용되는 패드 (듀폰은 CMP 분야 세계시장 80% 이상의 점유율을 가진 선두업체로 이번 투자로 수입대체 효과 및 국내 CMP 원재료 생태계 강화 기대)

[투자 배경 및 경과]

듀폰社는 한국內 자회사인 롬엔드하스전자재료코리아(유)를 통해 1998년부터 천안에 2개의 공장을 가동하여 반도체 회로기판용 소재·부품을 생산해왔음

* 듀폰社에서 생산하는 제품으로 KrF(불화크립톤), ArF(불화아르곤) 포토레지스트, 빛반사 방지막제, 금속박막도금, 유전체, 클리닝 화학제품 등이 있음

이번 투자는 듀폰社가 반도체 극소형화에 필요한 차세대 제품·기술 개발 및 공급 다변화 요구에 부응하고, EUV용 포토레지스트 등 점차 성장중인 시장에 선제적으로 대응하기 위한 것임

산업부는 지난해 7월 일본 정부의 수출규제 조치 이후 핵심 소재‧부품‧장비에 대한 공급 안정화를 위해 글로벌 기업인 듀폰社와 직접 접촉하여 투자유치를 협의함

이 과정에서 정부-지자체-KOTRA가 원팀으로 듀폰社와 투자협상을 적극 진행하여 경쟁국을 제치고 한국이 최종 투자처로 선정된 바, 정부와 해당 지자체는 향후 투자과정에서 애로사항 해소 및 인센티브 지원 등이 차질 없이 이뤄지도록 노력할 예정

* 인센티브 : 투자 부지의 외국인투자지역 지정 및 임대료 감면 등

[이번 투자의 의의]
① EUV용 포토레지스트는 현재 주로 일본으로부터 수입에 의존하고 있으나, 이번 투자유치를 통해 미국, EU 기업으로 동 품목의 공급선을 다변화 하는데 기여할 수 있다는 점에서 의의가 매우 큼
② 또한, 이번 투자를 통해 국내기업과의 상생협력 및 소재‧부품‧장비 산업경쟁력 강화에 기여할 것으로 기대

존 켐프 사장은 투자신고서를 제출하는 자리에서 “EUV용 포토레지스트 개발·생산을 위해 앞으로 한국 내 주요 수요업체와 제품 실증테스트를 진행하는 등 긴밀히 협력해 나갈 계획”이라고 밝힘

성윤모 장관은 “최근 일본 정부의 EUV용 포토레지스트에 대한 특정포괄허가 허용 등 일본 수출규제 조치 해결에 일부 진전이 있었지만, 근본적인 해결방안으로 보기는 어려우며, 정부는 핵심 소재·부품·장비에 대한 기술경쟁력 확보와 공급선 다변화를 계속해서 추진해 나갈 것”이라고 강조함

* 일본 경제산업성은 한국에 수출하는 EUV용 포토레지스트 수출심사·승인을 ‘개별허가’에서 ‘특정포괄허가’로 변경하는 포괄허가취급요령 일부 개정령 공시(2019.12.20)

2) 실리콘밸리 투자가 라운드테이블 개최

< 투자가 라운드테이블 개요 >
- 일시/장소 : 2020.1.9.(목) 10:30~12:00 (현지시간) / 포시즌스 호텔 실리콘밸리 볼룸A
- 참석기업 : 10개사
- 소재·부품·장비 : 램리서치·어플라이드벤처스(반도체장비), 리틀휴즈(시스템반도체), 보그워너(車부품)
- 신산업 : 에어프로덕츠·고어(수소경제), 프린시플파워(풍력발전), SST와이어리스(IoT센서), 피스컬노트(빅데이터 분석)
- 스타트업 투자 : 알토스벤처스(벤처캐피탈)

성윤모 장관은 라운드테이블 회의에서 한국의 투자 매력요인으로 ①5년 연속 외국인투자 200억불을 달성한 안정적 투자환경, ②신산업 육성을 뒷받침하는 혁신역량, ③글로벌 FTA 네크워크 등을 들면서, 앞으로 한국과 협력이 유망한 투자분야로 ①수소경제, ②반도체, ③스타트업(Start-up)을 제안함

참석기업들은 한국정부의 수소경제 활성화 로드맵, 핵심 소재·부품·장비 경쟁력 강화 대책 등에 큰 관심을 보였으며, 향후 동 분야에서의 투자 협력이 확대될 수 있다는 점에 기대감을 표명함

특히, 수소차 관련 소재기업은 국내 수요기업과의 협력 가능성을 고려하여 한국에 생산시설을 구축하는 투자를 적극 고려할 계획임을 밝히고, 한국정부의 지속적인 관심과 지원을 요청함

이에 대해, 성윤모 장관은 한국 투자에 대한 미국 기업인들의 관심에 사의를 표명하고, 앞으로도 한국정부는 외국인투자에 대한 지원을 아끼지 않을 예정이라고 언급함

3. 향후계획

산업부는 이번 미국 투자유치활동을 시작으로 금년에도 주요 투자국을 대상으로 전략적 IR을 추진하고, 주한 외국기업, 협‧단체, 지자체 등과의 소통을 통해 외국기업의 국내투자를 적극 유도해 나갈 예정

소재·부품·장비, 신산업 분야 유망기업에 대해서는 선제적으로 투자 인센티브를 제안하여 협상하고, 투자가 결정되면 정부‧해당 지자체‧유관기관 등이 합동 TFT를 구성하여 투자 애로해소 등을 적극적으로 지원할 방침

* (소재·부품·장비) 수요 대기업의 투자유치 수요가 있는 분야(신산업 및 R&D센터) 국내 산업과의 시너지, 시장 확대 촉발 가능 분야 중심

나아가, 산업부는 외투기업의 미처분 이익잉여금의 외국인직접투자 인정, 소재‧부품‧장비 분야 현금지원 확대 등 외국인투자 활성화를 위한 제도개선 노력도 지속할 예정임

* 미처분 이익잉여금 외투인정, 현금지원 대상 확대(산업발전법 상 첨단기술·제품 2,990개 추가) 관련 「외국인투자촉진법」 개정안이 국회 본회의 계류 중


출처: 산업통상자원부